供应微弘HJL1000型led外延片退火炉

Led合金退火炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-6英寸工艺尺寸。

■ 该系统主要功能如下   

◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便                   

◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                              

◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能             

◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能                  

◆ 智能升降温斜率控制功能

◆ PID参数自整定功能                 

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检测与报警功能                                

◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能）

◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                  

◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）

◆ 停电后断点继续运行功能等等                              

★ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。

■  主要技术参数          

◆ 可配工艺管数量：1～4管/台  

◆ 工作温度范围：200～1000℃  

◆ 恒温区长度及精度：300～800mm  800～1000℃±0.5℃

**可控升温速度：15℃min;      

**降温速度： 5℃min   

◆ 单点温度稳定性：800～1000℃±0.5℃/24h

◆ 真空系统：无油泵组（定制）

★ 可为用户量身定制非标准产品