| 电源电压 | 220V |
|---|---|
| 新旧程度 | 8成新 |
| 品牌 | MPTC |
| 型号 | RTP-800S |
RTP-800S 设备简介：
RTP-800S 是一款先进速热型工艺设备，具备多路工艺气体，可大大提高工艺稳定性；可
**工艺8〞产品。其制程控制系统可实时监控工艺曲线，菜单管理，数据存储、调取，并
具备完整的自诊断功能。
1. 深宽高：91*61*138cm
2. 重量：≈560kg
3. 电力：208VDC 150A 三相四线
4. 气体：Cooling N2 一路
压缩空气一路
工艺N2 一路
工艺O2 一路
5. 冷却水：3/4 管径一路
6. 排风： 热排风一路
酸碱排风一路（工艺尾排）
1. 工艺尺寸：≤8〞
2. 温度控制范围：250~1250℃
3. 温度控制速率：0~150℃/Sec
4. 温度精度控制：±2℃
5. 石英工艺腔体、石英托盘
6. 4 组钨灯丝加热
7. 自带温度自校准控制器
8. 触摸屏显示器